西门子 IP-LXM45Z EDI 模块是 IONPURE系列的大流量款型,在工业超纯水制备领域应用广泛。蓝膜合作的客户中,半导体行业某一工厂使用西门子 IP-LXM45Z EDI 模块时出现的产水电阻率波动与浓水压力降偏高问题。下面是蓝膜对其问题提供的参考解决方案。

针对性解决方案
产水电阻率波动的解决措施
前置水质优化:在二级反渗透与 EDI 模块之间增设 TOC 降解器,采用紫外光氧化技术分解水中的有机污染物,将进水 TOC 含量控制在 5μg/L 以下,从源头消除有机污染风险。
膜堆化学清洗:配置 5% 的稀盐酸溶液,采用循环清洗方式对 EDI 膜堆进行清洗,清洗流速控制在模块额定流量的 50%,清洗时间为 60 分钟,去除膜堆表面吸附的有机污染物与轻微结垢。
运行参数微调:将 EDI 模块的操作电压从 400V 逐步提升至 500V,电流维持在 2A,增强电渗析过程的离子迁移效率,恢复膜堆的脱盐性能。
浓水压力降偏高的解决措施
膜堆反洗操作:关闭 EDI 模块进水阀,开启浓水回流阀与反洗泵,采用脱盐水以 1.5 倍额定浓水流速进行反洗,反洗时间 30 分钟,利用水流冲击力清除膜堆流道内的颗粒物杂质。
管路预处理:对 EDI 模块前端的管路进行冲洗与吹扫,拆除管路过滤器并清洗滤芯,避免后续运行中杂质再次进入膜堆。
压力监测预警:在每支 EDI 模块浓水进出口加装压力表,设定压力降预警值为 0.08MPa,当压力降达到预警值时,系统自动触发反洗程序,防止杂质持续堆积
解决方案实施效果
产水水质恢复:经 TOC 降解器处理后,EDI 进水 TOC 稳定在 3μg/L 左右,膜堆清洗与参数调整完成后,产水电阻率恢复至 18MΩ・cm,且波动幅度控制在 0.5MΩ・cm 以内,满足晶圆生产的水质要求。
压力降回归正常:反洗与管路预处理后,模块浓水压力降降至 0.06MPa,处于正常运行区间,浓水循环效率提升,膜堆局部极化问题得到解决。
运行稳定性提升:解决方案实施后,系统连续运行 3 个月未出现同类问题,EDI 模块的产水性能与运行参数保持稳定。
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